使用工業(yè)設(shè)備自動化控制技術(shù),實現(xiàn)了晶圓的高效搬運和精確控制,提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
全自動膜厚測量系統(tǒng)集自動化設(shè)備的控制、膜厚測試、運行狀態(tài)的監(jiān)控為一體的自動軟體。
任務(wù)管理:展示任務(wù)信息、任務(wù)詳情、晶圓的統(tǒng)計數(shù)據(jù)以及測試結(jié)果。
創(chuàng)建任務(wù):設(shè)置搬運控制、Cassette掃片以及確認數(shù)據(jù)。
自動化控制模塊:定義機械臂動作指令,下發(fā)指令,實現(xiàn)動作的自動化控制。定義坐標,下發(fā)坐標,實現(xiàn)XY平臺的運動控制。
Cassette掃片:控制機器人對Cassette盒進行掃片,確認晶圓位置及數(shù)量。
搬運模版:創(chuàng)建模板名、設(shè)置晶圓尺寸、坐標、Port(同進同出、異常分類)等。
坐標管理:展示坐標信息,模版的創(chuàng)建、編輯、導(dǎo)入、導(dǎo)出等。